在半導體制造這個高端且精密的領域中,工藝氣體的純凈度直接關乎芯片的質量與性能。而 BF 系列大宗氣體專用過濾器,作為半導體氣體大流量異形過濾器中的佼佼者,發揮著極為關鍵的作用。
半導體芯片的制造過程極其復雜,像光刻、蝕刻、薄膜沉積等關鍵工序,對工藝氣體的純度要求近乎苛刻。哪怕是極其微小的雜質,都可能導致芯片出現缺陷,降低成品率。BF 系列過濾器專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾而生,其采用全 316L 不銹鋼精密打造。這種材質不僅具有出色的耐腐蝕性,能適應半導體生產環境中各種化學物質的侵蝕,而且堅固耐用,為過濾器的長期穩定運行提供了堅實保障。
它的多柱狀或疊盤狀介質設計堪稱精妙。在半導體生產線上,往往需要大流量的工藝氣體供應,以滿足大規模生產的需求。該設計就確保了在高流通量的情況下,依然能夠保持低阻損。這就好比在寬闊的高速公路上,車輛(氣體)能夠快速順暢地通行,而不會因為道路(過濾器)的阻礙而減速或者擁堵,極大地提高了生產效率。
其過濾精度高達 0.003um,這是一個非常了不起的數字。那些細微到難以想象的雜質顆粒,在經過 BF 系列過濾器時,都能被精準地攔截下來,從而完美地滿足了超高純工藝對氣體純凈度的嚴苛要求。無論是顆粒雜質、水分,還是其他可能存在的有害成分,都無法逃過它的 “法眼”。
在半導體制造過程中,常常會面臨高溫動態的環境挑戰。例如在一些高溫化學氣相沉積工藝中,溫度較高且氣體流動狀態復雜。BF 系列過濾器的整體金屬構造就顯示出了獨特的優勢,它能夠在這樣惡劣的環境下穩定工作,成為高溫動態環境下理想的過濾解決方案。它就像一位忠誠且強大的衛士,時刻守護著半導體制造工藝氣體的純凈,為生產出高質量、高性能的半導體芯片默默貢獻著力量,是半導體產業不斷發展進步不可或缺的重要支撐設備。
發布時間 24-11-23