???????? 超高純氣體系統過濾器主要是過濾系統內部高純氣體中含有的雜質污染物，它的原理是通過擴散和截獲機理將氣體中粒子過濾掉。如果有任何雜質在超純氣體里就會造成氣體質量下降，影響氣體的純度。

??????? 超純(chun)(chun)氣(qi)體(ti)指純(chun)(chun)度高于99.99%的(de)氣(qi)體(ti)，是一(yi)種高純(chun)(chun)化學(xue)試劑。它主要應用在一(yi)些(xie)科學(xue)研究和(he)(he)尖端(duan)技術的(de)特殊應用上，比如半導體(ti)工業中(zhong)(zhong)會用到氫、氮(dan)、氦、硅烷等單一(yi)超純(chun)(chun)氣(qi)體(ti)作為保護(hu)氣(qi)和(he)(he)載氣(qi)，也(ye)可在高溫擴(kuo)散爐中(zhong)(zhong)用作器件的(de)保護(hu)氣(qi)。除此之外，也(ye)有不(bu)少(shao)超純(chun)(chun)混合氣(qi)體(ti)作為色(se)譜(pu)、質(zhi)譜(pu)和(he)(he)光(guang)譜(pu)分析中(zhong)(zhong)的(de)標準氣(qi)來(lai)使用。

??????? 恒歌超高純氣體過濾器通常安裝在閥門、配件下游和進氣前的部分，供氣系統內部由于振動效果或者強氣流沖擊導致金屬粒子脫落，容易將粒子污染物帶入氣體中，因此需要在用超高純氣體過濾器過濾。恒歌超高純氣體過濾器能對超純氣體進行有效精密過濾，可通過多級處理滿足工況要求，產品一體化無縫結合無焊接部位，適用于高壓工況下的氣體及液體過濾。

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??????? 由于很多高壓氣體系統內部壓力的很高的，因此恒歌耐高壓超高純氣體過濾器采用316l不銹鋼材質，耐壓能力強，適合多種高壓工況系統。產品體積小，安裝方便，與大多數高純度半導體工藝氣體具有良好的兼容性；微納米顆粒過濾能力保持高流量效率，超小壓降。

??????? 半導體(ti)行業中(zhong)幾乎各道(dao)工序都用到超純(chun)(chun)氣(qi)體(ti)，器件的(de)質量與(yu)超純(chun)(chun)氣(qi)體(ti)的(de)純(chun)(chun)凈度有密切關系(xi)。因此，對于(yu)超純(chun)(chun)氣(qi)體(ti)的(de)過濾凈化是要起到重(zhong)視(shi)作(zuo)用的(de)，選(xuan)擇(ze)一個質量過硬的(de)超純(chun)(chun)氣(qi)體(ti)過濾器能(neng)夠幫(bang)助有效去除脫落粒子(zi)，保(bao)護(hu)超純(chun)(chun)氣(qi)體(ti)的(de)純(chun)(chun)度避免工程(cheng)損失和損壞(huai)。qp1315.cn

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