316L氣體大流量過濾器_高溫超純氣體過濾器_電解半導體過濾器
?BF系列大宗氣體專用過濾器、專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計、采用全316L不銹鋼精密打造、多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損、過濾精度高達0.003μm、滿足超高純工藝需求。整體金屬構造、是高溫動態環境下的理想過濾解決方案。
產品特點
? 整體(ti)316L不銹鋼結(jie)構
? 高通(tong)量、低(di)阻力
? 超高顆(ke)粒攔截率(lv)
? 耐(nai)高溫、耐(nai)高壓、耐(nai)腐蝕
? 適用于(yu)多種(zhong)工藝(yi)氣體
? 適用于(yu)潔凈(jing)室環(huan)境內制造、測試、包裝
? 100%完整性測試
? 100%氨氣檢(jian)漏測試
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產品參數
| 濾芯材質 | 316L不銹鋼粉末(mo)燒結 | 殼體材質(zhi) | 316L不銹鋼 | ||
| 最大進氣壓力(li) | 207bar | 最大工作壓差(cha) | 5.2bar | ||
| 氦氣驗證(zheng)泄漏率 | 2×10-10cc/min | 氦(hai)氣測(ce)試泄(xie)露率 | 1×10-10cc/min | ||
| 表面處理 | 外表(biao)面 | Ra < 1.6μm | 最高使用(yong)溫度 | 惰(duo)性氣體 | 400-500*C |
| 內表面 | Ra < 0.2μm | 腐蝕性氣(qi)體(ti)，反(fan)應氣(qi)體(ti) | 50C | ||
| 顆粒攔截(jie)效(xiao)率 | ≥99.9999999%(9LRV)@30slpm | 下游潔凈度(du) | ≥0.03particles/liter @>0.01um，30slpm |
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| 顆粒(li)攔(lan)截粒(li)徑 | ≧0.003μm | ||||
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