擴散器專用過濾器金屬墊片_半導體VCR過濾墊片_密封超純凈接頭墊片
MF系列(lie)儀(yi)器保護專(zhuan)用過濾器、全金屬材質(zhi)、專(zhuan)為半導(dao)體氣(qi)體分配系統(tong)設計、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩壓設備不可或缺的守護屏障。在高達400℃環境下、能有效阻隔微粒侵襲、守護敏(min)感氣(qi)體組件(jian)、延長設備壽命、預防因微粒污染導致的泄露風險。可選擇低壓型或高壓型、也可在現有配管上安裝、為精密設備提供經濟高效的防污屏障。
產品特點(dian)
1、整(zheng)體316L不銹鋼結(jie)構
2、可以作(zuo)為表面密(mi)封的過濾(lv)器、所以不(bu)需要額外的工(gong)作(zuo)(切割/焊(han)接管道用于過濾(lv)器安(an)裝)
3、耐(nai)高(gao)溫、耐(nai)高(gao)壓、耐(nai)腐蝕(shi)
產品參數
濾芯材質?? | ? 316L不銹(xiu)鋼(gang)粉末(mo)燒結 | 殼體/墊(dian)片材(cai)質 | ? 316L不(bu)銹鋼 | |
表面處理(li)??? | 內表面??? | 拋(pao)光+電解Ras0.2um | 最高使用溫度??? | ?400°C |
外表面??? | ? Ra < 1.бum?? | |||
顆粒攔(lan)截粒徑(jing)?? | ≥99.9999999%(9LRV)@100slpm (參考MPPS,所有顆粒(li)) |
顆粒攔(lan)截粒徑?? | 20.3um |
?
?
?
?
?
?
?
?
?
?
?
?
?
?
?