卡套直通過濾器_不銹鋼氣體過濾器_精密高效工藝氣體過濾器
TF系列工藝氣體專用過濾器、專為半導體領域設計、精準清除UHP超純氣流微粒、保障生產純凈度。其安裝簡便、僅需氣路對接與螺母緊固、避免焊接風險、確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造、結構緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現卓越微粒過濾效率、是工藝氣體凈化的理想之選。
產品特點
? 整體316L不銹鋼結構
? 高通量、低阻(zu)力
? 超高(gao)顆粒攔截率
? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕、適(shi)用(yong)于多種(zhong)工藝氣體、適(shi)用(yong)于潔凈室環境(jing)內(nei)制(zhi)造、測試(shi)、包裝100%完整性測試(shi)
? 100%氨氣檢漏測試
F型直通式(shi)過濾器
1、結構(gou)緊(jin)湊(cou)，節省空間
2、工作壓力可(ke)達: 207bar(3000psig)
3、工作溫度:-28~ +482℃
技術參數
| 濾芯材質 | 316L不銹(xiu)鋼粉末燒(shao)結 | 殼體材質 | 316L不(bu)銹鋼 | ||
| 氦氣驗證泄漏率 | 2×10-10/min | 氦氣(qi)測(ce)試泄露率(lv) | 1×10-10/min | ||
| 表面處理 | 外(wai)表(biao)面(mian) | Ra < 1.6μm | 最高使用溫(wen)度 | 惰性氣體 | 400-500°C |
| 內表面 | Ra < 0.2μm | 腐(fu)蝕性氣體，反(fan)應氣體 | 50°C | ||
| 顆(ke)粒(li)攔(lan)截效率(lv) | ≧99.9999999%(9LRV)@30slpm | 下游潔(jie)凈度(du) | ≧0.03particles/liter @>0.01um，30slpm |
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| 顆粒攔截(jie)粒徑 | ≧0.003μm | ||||
過濾面積
| 過濾器類(lei)型(xing) | 過濾面積規格 | 過濾面積mm2 | |
| 燒結式(shi) | 濾(lv)網式 | ||
| F型直通(tong)式 | 2 | 350 | / |
| 4 | 830 | 640 | |
| 8 | 1280 | 1090 | |
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