大宗氣體專用過濾器_不銹鋼氣體過濾器_精密微米工藝氣體過濾器
BF系列大宗氣(qi)體專(zhuan)用過(guo)濾器、專(zhuan)為半導體制程超(chao)高純工藝(yi)氣(qi)體在線過(guo)濾應用設計(ji)、采用全316L不銹鋼精密打造、多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損、過濾精度高達0.003μm、滿足超高純工藝需求。整體金屬構造、是高溫動態環境下的理想過濾解決方案。
產品特點
? 整體316L不(bu)銹鋼結構
? 高通量、低(di)阻(zu)力
? 超高顆粒(li)攔截(jie)率
? 耐(nai)高溫、耐(nai)高壓、耐(nai)腐蝕
? 適用于多種工(gong)藝氣體
? 適用(yong)于(yu)潔凈室(shi)環境內制(zhi)造、測試(shi)、包裝
? 100%完整性(xing)測試
? 100%氨氣檢漏測試
恒歌大宗氣體專用過濾器有著多種規格型號，可提供OEM定制服務，按照您的需求設計生產大宗氣體專用過濾器，為您的項目提供最專業的過濾解決方案。
產品參數
| 濾芯材質(zhi) | 316L不銹鋼(gang)粉(fen)末燒(shao)結 | 殼體(ti)材質 | 316L不銹鋼(gang) | ||
| 最大進氣(qi)壓力 | 207bar | 最大工作壓差(cha) | 5.2bar | ||
| 氦氣驗證(zheng)泄(xie)漏率 | 2×10-10cc/min | 氦氣(qi)測試泄露率 | 1×10-10cc/min | ||
| 表面(mian)處理 | 外表(biao)面 | Ra < 1.6μm | 最(zui)高使用溫度 | 惰性氣體 | 400-500*C |
| 內表面(mian) | Ra < 0.2μm | 腐蝕性氣體，反應氣體 | 50C | ||
| 顆粒攔截效率 | ≥99.9999999%(9LRV)@30slpm | 下游(you)潔凈度 | ≥0.03particles/liter @>0.01um，30slpm |
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| 顆粒(li)攔截粒(li)徑 | ≧0.003μm | ||||
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