高純度氣體過濾器_大宗氣體專業純化過濾器_大流量氣體過濾器
BF系列大宗氣體專用過濾器、專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計、采用全316L不銹鋼精密打造、多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損、過濾精度高達0.003μm、滿足超高純工藝需求。整體金屬構造、是高溫動態環境下的理想過濾解決方案。
產品特(te)點
? 整(zheng)體316L不銹鋼結構
? 高通(tong)量、低阻力
? 超高顆粒(li)攔截率
? 耐(nai)高溫、耐(nai)高壓(ya)、耐(nai)腐蝕
? 適用于多種(zhong)工藝氣體(ti)
? 適(shi)用于潔凈(jing)室環境內制(zhi)造、測試(shi)、包裝
? 100%完整性測試
? 100%氨氣檢漏測(ce)試
恒歌大宗氣體專用過濾器有著多種規格型號，可提供OEM定制服務，按照您的需求設計生產大宗氣體專用過濾器，為您的項目提供最專業的過濾解決方案。
產品參數
| 濾芯(xin)材質 | 316L不銹(xiu)鋼粉末燒結(jie) | 殼體材質 | 316L不銹(xiu)鋼 | ||
| 最(zui)大進(jin)氣(qi)壓力 | 207bar | 最大工作壓差 | 5.2bar | ||
| 氦氣驗證泄(xie)漏率(lv) | 2×10-10cc/min | 氦(hai)氣(qi)測(ce)試泄露率 | 1×10-10cc/min | ||
| 表面處理 | 外(wai)表面(mian) | Ra < 1.6μm | 最(zui)高使用(yong)溫(wen)度 | 惰性(xing)氣體(ti) | 400-500*C |
| 內表面 | Ra < 0.2μm | 腐蝕性氣(qi)體，反應氣(qi)體 | 50C | ||
| 顆粒(li)攔(lan)截效率 | ≥99.9999999%(9LRV)@30slpm | 下游(you)潔(jie)凈度(du) | ≥0.03particles/liter @>0.01um，30slpm |
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| 顆粒攔截粒徑 | ≧0.003μm | ||||
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